项目一：测量薄膜下石墨的厚度

检测方案：

将产品平置，上下各一个探头，进行对射测厚，通过传感器软件获取产品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的传感器。

2、总厚度依次选取圈内位置测量，薄膜测量则选取石墨附近位置的薄膜厚度。

测试结果：

1、位置1重复13次的动态重复精度为0.135微米，位置2重复13次的动态重复精度为0.053微米，位置3重复13次的动态重复精度为0.073微米，位置4重复13次的动态重复精度为0.175微米。

2、产品4个位置总厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4个位置石墨平均厚度

产品清单：

项目二：测量石墨的厚度

检测方案：

将产品平置，上下各一个探头，进行对射测厚，通过传感器软件获取产品的厚度值。

1、采用D15A32R02S3的传感器。

2、石墨上随机取4个位置测试。

测试结果：

位置1重复25次的动态重复精度为0.31微米，位置2重复25次的动态重复精度为0.168微米，位置3重复25次的动态重复精度为0.052微米，位置4重复25次的动态重复精度为0.064微米。

产品清单：